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無塵室潔凈度等級參照標(biāo)準(zhǔn)
日期：2025-06-08 13:05
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摘要：
無塵室潔凈度等級參照標(biāo)準(zhǔn)
半導(dǎo)體工業(yè)是極精密的工業(yè)，當(dāng)我們把計(jì)算機(jī)拆開之后，在電路板上一顆顆小小的IC都有數(shù)百萬顆甚至數(shù)千萬顆的晶體管。為了讓這些極小的晶體管妥善的工作，制造的過程必須在無塵室內(nèi)進(jìn)行，集成電路制造的工廠動輒需要數(shù)十億、數(shù)百億的投資，多因?yàn)樾枰粋€無塵室。
所謂的無塵室是一個人造的環(huán)境，里面含有的粒子遠(yuǎn)低于一般的環(huán)境，隨著集成電路技術(shù)的快速成長，也增加了對制造環(huán)境(無塵室)潔靜度的需求，在工業(yè)上即使粒子之尺寸小于1微米，也可能阻礙產(chǎn)品的運(yùn)作或降低其壽命。由于奈米技術(shù)的興起，造成半導(dǎo)體關(guān)鍵尺寸持續(xù)縮小，集成電路積集度不斷的增加，塵粒更容易使芯片失效或可靠度惡化。例如當(dāng)金屬塵粒地落到金屬導(dǎo)線時，就可能會使金屬導(dǎo)線形成短路。又如果有酸性的離子化合物塵粒掉在金屬導(dǎo)線上，可能將其腐蝕，所以無塵室為集成電路制造不可或缺的要素。
依據(jù)美國聯(lián)邦政府頒布的標(biāo)準(zhǔn)【Federal Standard (FS) 209E, 1992】，可將無塵室分為六級。分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級，如果無塵室的等級只用塵粒數(shù)目來敘述，則可假設(shè)塵粒的尺寸為0.5µm，例如，1級、10級、100級無塵室*大塵粒數(shù)目分別小于或等于1顆、10顆、100顆，如果塵粒尺寸不是0.5µm，無塵室等級應(yīng)以在一特定塵粒尺寸的級數(shù)來表示。例如：10級在0.2µm(塵粒尺寸在0.2µm或更大下，密度不大于75顆/立方英?)，1級在0.1µm(塵粒尺寸在0.1µm或更大下，密度不大于35顆/立方英?)。而集成電路制造所需的無塵室之潔凈度必須優(yōu)于1000級。
為保持無塵室的潔凈度，進(jìn)出的人員有一定的穿著規(guī)定；10000與100000級，必須穿著長袍無塵衣、無塵鞋、帶帽子與面罩；1000級(含)以上，需穿著特殊的潔凈連身衣、無塵鞋將全身裹住，并帶上手套和面罩，下表為無塵室清潔度的定義：
